解決先進工藝MOSFET的測量問題的最好辦法
日期:2018-03-16 / 人氣: / 來源:
[概要說明]解決先進工藝MOSFET的測量問題的最好辦法
在大家對摩爾定律的質疑聲中,工藝制程已經(jīng)推進到了7nm,未來的5nm和3nm也都在固化之中。但我們應該見到,無論對于晶圓廠、EDA工具提供商或者測試廠來說,挑戰(zhàn)日益嚴峻,尤其對于測試方面。
首先是電子阱測試的問題。
電子阱存在于MOSFET的溝道之中,隨著工藝的演進,器件MOSFET的溝道變得越來越短,這就會影響器件穩(wěn)定性以及器件間的失配。為了能測量出器件中電子阱的數(shù)量,傳統(tǒng)方法是在直流情況下測試器件的隨機電報噪聲,但在先進工藝(如16nm),這樣的測量就顯得有些力不從心。
另一方面,MOSFET的遷移率(遷移率是MOSFET性能的重要指標)的測量也成為從業(yè)者關注的另一個重要問題。
傳統(tǒng)的慢速方法無法捕捉到電荷阱和柵極漏電流等瞬態(tài)效應的影響,而且在測試過程中需要改變MOSFET的漏端電壓并有一次更換線纜的動作,進而造成誤差。
為此,供應商們與時俱進的推出了新的測試方案,幫助其客戶解決問題。
例如面向電子阱的問題,泰克采用了柵極加交流電的情況下去測隨機電報噪聲的方法,從而提高電子阱的測試準確率和測試靈敏范圍。
至于遷移率測量,泰克則采用(Ultra-Fast Single Pulse)UFSP的方法僅需一次快速打一個很短的脈沖(幾微秒)即可測出遷移率,避免了傳統(tǒng)方法的幾個問題。
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